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GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法

作者:标准资料网 时间:2024-05-24 11:19:39  浏览:9861   来源:标准资料网
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基本信息
标准名称:硅片氧沉淀特性的测定-间隙氧含量减少法
英文名称:Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
中标分类: 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属无损检验方法
ICS分类: 电气工程 >> 绝缘流体 >> 绝缘流体综合
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2004-02-05
实施日期:2004-07-01
首发日期:2004-02-05
作废日期:1900-01-01
主管部门:国家标准化管理委员会
提出单位:中国有色金属工业协会
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人:蒋建国、屠妹英、贺东江、章云杰
出版社:中国标准出版社
出版日期:2004-07-01
页数:16开, 页数:5, 字数:9千辽
书号:155066.1-20772
适用范围

本标准规定了由测量硅片间隙氧含量的减少量来检验硅片氧沉淀特性的方法原理、取样规则、热处理程序、试验步骤、数据计算等内容。本标准用于定性比较两批或多批集成电路用硅片间隙氧沉淀特性。

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所属分类: 冶金 金属理化性能试验方法 金属无损检验方法 电气工程 绝缘流体 绝缘流体综合
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【英文标准名称】:Applicationofcables,wiresandflexiblecordsinpowerinstallations;economicoptimizationofcablesize(IEC61059:1991);germanversionHD558S1:1991
【原文标准名称】:电力设备用电缆和绝缘软线的使用.电缆导线截面的经济上的最佳性
【标准号】:DINVDE0298-100-1992
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1992-12
【实施或试行日期】:1992-12-01
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:绝缘的;尺寸;尺寸;成本;电缆;电缆;可行性;符号;横断面;电线;经济计算;能量分配;电气工程;最优化;数学计算;电力电缆;导体横截面;成本计算
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:K13
【国际标准分类号】:29_060_20
【页数】:23P;A4
【正文语种】:德语


【英文标准名称】:Electronicdatainterchangeforadministration,commerceandtransport(EDIFACT)--Applicationlevelsyntaxrules(Syntaxversionnumber:4)--Part7:SecurityrulesforbatchEDI(confidentiality)
【原文标准名称】:管理、商业和运输业用电子数据交换(EDIFACT).应用层语法规则(语法版本号:4).第7部分:成批电子数据交换的安全规则(保密性)
【标准号】:JISX7011-7-2001
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:2001-01-20
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonInformationTechnology
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:记录品管理;文电;复印机;数据存储保护
【英文主题词】:reproductionmachines;recordsmanagement;datastorageprotection;messages
【摘要】:この規格は,バッチEDI用のセキュリティの規格であり,確立された七キュリティ機構に従った,メッセージノパッケージレべル,グループレべル及び,交換レべルのセキュリティの機密性を規定する。
【中国标准分类号】:L67
【国际标准分类号】:35_040;35_240_60
【页数】:39P;A4
【正文语种】:日语